第一百九十六章 无光刻激光投影到光源蚀刻再到电子控制电路集成 努力挺好的
晶圆处理区的稳定运行声还在空气中微微震颤,观察窗内最后一轮抛光流程刚刚结束。
郑飞光紧盯屏幕上跳动的参数。!”
他猛地拍下停止键,溶炉缓缓熄火。
张海生立刻操作机械臂,泛着金属冷光的45纳米晶圆被轻柔夹起,精准转移至隔壁的激光微刻蚀系统工位。
晶圆表面映出头顶无菌灯的倒影,光滑如镜。
“激活投影编程!”
郑飞光的声音带着紧绷的兴奋。
周瑶同步在控制台输入指令,杨辰传来的光子通路三维模型瞬间加载完毕。
嗡鸣声中,设备顶端的蓝色光源骤然亮起。
没有实体掩膜板,只有一道悬浮在晶圆上方、由亿万个光点构成的立体神经网络图谱。
那些交错的光路细如蛛丝,却清淅映射出光子微处理器的内核结构。
“这就是无光刻?”
张海生摒息盯着光网。
某个新人忍不住低呼。
“光束在自动调整密度!”
只见投影光点正根据晶圆实时反馈,动态收缩边缘局域的亮度,避免过度曝光。
“杨主管的算法在补偿曲面畸变。”
“传统光刻做不到这种实时修正。”
投影光束持续扫过晶圆。
当最后一条光路轨迹隐没的瞬间,周瑶的终端弹出提示,投影编程完成。
晶圆表面看似毫无变化,但郑飞光调出显微监测画面。
一道比发丝细万倍的浅层光敏纹路已烙印在硅基底上,如同冰面下的暗痕。
杨辰的声音突然切入。
“转蚀刻区。”
他不知何时已站在蚀刻设备旁,手指悬在激活键上。
这台方型机器外壳灰黑粗粝,唯一显眼的是顶部碗口大的石英窗口,内部隐约透出紫光。
“光源充能!”
郑飞光高喊着拉下隔离闸。
设备内部传来蜂群振翅般的低频震动,窗口陡然迸发旋涡状紫色流光。
没有热量辐射,但所有人心头莫名一悸。
张海生瞥见周瑶终端的数据流,光波频率数值疯狂跳动,远超可见光谱范围。
“定。”
杨辰按下激活键。
旋涡紫光骤然坍缩成一束凝实的射线,穿透石英窗打在晶圆正中央!
被投影编程标记的局域瞬间气化,刻蚀深度精确至原子层级。
更诡异的是,蚀刻路径竟沿着早先的光敏纹路自动蜿蜒,仿佛两者存在某种无形纽带。
“蚀刻光源在跟踪投影标记……”
张海生脱口而出。
晶圆表面腾起纳米级的硅尘雾,又被实时抽走的负压气流瞬间卷走。
紫色光束象一支无形刻笔,在45纳米的战场上凿出第一条光子通路。
只剩下冷却系统低沉的嗡鸣持续运转,封闭空间顶部柔和的照明灯自动亮起,将内部映照得一览无馀。
晶圆静静地躺在工作台上。
此刻的它,表面不再是纯粹的光滑,无数道精细到微不可见的痕迹纵横交错。
这些沟壑由无形的刻刀雕琢而出,构成了一个复杂无比的微观信道网络。
它们是为光子准备的路径,是这座芯片微缩城市里缺省的光子大道和神经末梢。
“蚀刻深度和形态达标,能量逸散控制在安全阈值内。”
郑飞光长舒一口气,声音里的紧绷感消散了大半。
刚刚那最后百分之一的精准控制,耗费了他极大的专注力。
周瑶的手指在控制平板上快速滑动,核对蚀刻区反馈的数据流与设计参数进行最终比对。
“所有信道几何参数和能量分布与蓝图偏差均在误差许可范围之内。”
她简洁地报告道,话语是冰冷的确认,眼神却掠过一丝不易察觉的放松。
实验室内紧绷的空气微微松动。
杨辰的目光从蚀刻区观察窗收回。
那晶圆上承载的、肉眼看不见的沟壑迷宫,正是未来光子在其中奔腾的基础。
但这光之城还缺少它的血脉和大脑,控制光流的电气网络和逻辑单元。
“转移至电子电路集成区。”
杨辰的声音平静地响起,清淅地送入每个人的耳中。
“准备集成精密度控制电路和基础逻辑模块。”
这道指令仿佛无形的电流,瞬间激活了整个实验室。
新人们立刻行动了起来。
这道指令仿佛无形的电流,瞬间激活了整个实验室。
新人们立刻行动了起来。
他们无需更多言语,早已熟悉了流程。
两人快速上前,按照操作规程解锁蚀刻工作台的固定设备,另外两人则小心翼翼地操作着连接真空臂的转运托盘。
如同运送一件薄如蝉翼的珍宝,平稳地滑移、调整方向,然后朝着蚀刻区旁边那片明显不同风格的工作局域移动过去。
郑飞光快步走向电子电路集成区的主控台。
周瑶则同步将杨辰刚传